《双离子减薄仪在电镜制样中的应用》

在透射电镜显微分析中,制样工作是十分重要的。目前主要有两种制样手段:电化学减薄(又称双喷化学减薄)和离子减薄(又称双离子减薄)。前者速度高,但不易把握减薄的程度,因而样品报废率较高,且只适用于易化学腐蚀的金属类材质。后者,是以离子束流为减薄“工具”,凭借离子的“刻蚀”作用从两侧(或一侧)减薄样品。为了使薄化区更宽阔一些,并且减薄速度可调,没计了样品自转和样品表面可绕支架轴旋转,以改变离子束相对试样表面的入射角等功能。在IE—20型双离子减薄仪上,虽然规定以Ar作为离子源气体,但我们在实际工作中,用空气作源气体亦成功地减薄了各种材质的样品。