| 反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的研制 |
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| 引用本文： | 冯君刚 王笑夷 徐颖 高劲松. 反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的研制[J]. 光学精密工程, 2004, 12(Z2): 254-256 |
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| 作者姓名： | 冯君刚 王笑夷 徐颖 高劲松 |
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| 作者单位： | 冯君刚（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033）;王笑夷（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033）;徐颖（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033）;高劲松（中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033） |
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| 基金项目： | 国防科工委项目基金资助,项目编号:MKPT-01-111(ZD). |
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| 摘 要： | 介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的镀膜材料YbF3替代传统的有放射性红外镀膜材料ThF4用于制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜取得了较好的效果.同时所研制的分色镜在透射率、反射率,吸收等光学性质,应力硬度牢固度等力学性质,和抗高能激光损伤阈值等方面进行了一系列的测试,基本达到理想的指标.
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| 关 键 词： | 离子辅助沉积 红外高能激光分色镜 YbF3薄膜 激光阈值 光学薄膜 |
| 文章编号： | 1004-924X(2004)04-0254-03 |
| 收稿时间： | 2004-02-12 |
| 修稿时间： | 2004-02-12 |
Preparation of split-color coatings of reflectance in visible and middle-infrared with high transmittance in 10.6μm high-power CO2-laser |
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| FENG Jun-gang. Preparation of split-color coatings of reflectance in visible and middle-infrared with high transmittance in 10.6μm high-power CO2-laser[J]. Optics and Precision Engineering, 2004, 12(Z2): 254-256 |
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| Authors: | FENG Jun-gang |
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