非平衡磁控溅射沉积TiC／a—C多层膜的组织结构

本文采用非平衡磁控溅射沉积技术，分别以石墨和甲烷气体为碳源，制备TiC／a-C多层膜。利用Ⅺ射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC／a—C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析。结果表明：所制备的两种TiC／a-C薄膜中，TiC的晶粒呈柱状生长；用溅射石墨靶方法获得的TiC／a-C薄膜，无明显的层状结构，a-C相为石墨化和非石墨化的碳原子构成，碳原子的有序化程度较大；而采用甲烷气体为碳源沉积的TiC／a—C薄膜，呈规则的分层结构，碳原子的有序化程度低。采用过渡层及添加适当的金属元素能改善膜／基的结合强度。