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| 用电诱导液相外延法制备铝组分稳定的高铝值镓铝砷外延层 | |
| 引用本文： | 曾庆科.用电诱导液相外延法制备铝组分稳定的高铝值镓铝砷外延层[J].材料科学与工程,1995,13(3):14-17,51. |
| 作者姓名： | 曾庆科 |
| 摘 要： | 本文对用于制造高效率半导体发光器件的材料－Ｇａ１－ｘＡｌｘＡｓ（ｘ＝０．７５）外延层沿生长方向上铝组分的分布进行了详细讨论。采用电液相外延法能获得铝组分高度稳定的Ｇａ１－ｘＡｌｘＡｓ外延层，并用电流诱导效应作了初步理论解释。 |
| 关 键 词： | 电诱导液相外延 外延层 高效发光管 镓铝砷 |
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