| Sol—Gel V2O5薄膜的成膜和取向研究 |
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| 引用本文： | 袁宁一 李金华 等. Sol—Gel V2O5薄膜的成膜和取向研究[J]. 江苏石油化工学院学报, 2001, 13(4): 1-3 |
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| 作者姓名： | 袁宁一 李金华 等 |
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| 作者单位： | 江苏石油化工学院功能材料实验室 江苏常州213016(袁宁一，李金华)，中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 上海200050(林成鲁) |
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| 基金项目： | 中科院上海冶金所离子束开放实验室资助 |
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| 摘 要： | 采用溶胶－凝胶法在SiO2/Si衬底上沉积V2O5薄膜，详细介绍了对衬底表面作亲水处理的方法。以不同浓度溶胶，在不同温度和不同气氛下对薄膜进行热处理，得到以＜001＞向为主取向的高取向薄膜，从理论上解释了V2O5薄膜的取向机理，并与相同衬底上的热蒸发和PLD氧化钒薄膜的取向作了比较。
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶法 V2O5薄膜 结晶取向 氧化钒 衬底 沉积 硅 热蒸发 |
The Investigation of Growth of Sol-Gel V_2O_5 Films |
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| YUAN Ning-yi ,LI Jin-hua ,LIN Chen-lu. The Investigation of Growth of Sol-Gel V_2O_5 Films[J]. Journal of Jiangsu Institute of Petrochemical Technology, 2001, 13(4): 1-3 |
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| Authors: | YUAN Ning-yi LI Jin-hua LIN Chen-lu |
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| Affiliation: | YUAN Ning-yi 1,LI Jin-hua 1,LIN Chen-lu 2 |
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| Keywords: | Sol-Gel method V 2O 5 thin film crystalline orientation |
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