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| 渗氮—气相沉积TiN复合处理层膜基间“黑色层”组织的形成与控制 | |
| 作者姓名： | 谢飞 何家文 |
| 作者单位： | [1]江苏石油化工学院机械工程系，江苏常州213016 [2]西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，陕西西安710049 |
| 摘 要： | 通过对渗氮层中连续化合物层（“白亮层”）的稳定性与气相沉积工艺特性的分析，从热力学和动力学两方面分析了渗氮－气相沉积TiN复合处理时“黑色层”的形成机理，研究认为“黑色层”纱由渗氮“白亮层”分解而来，热力学上，渗氮“白亮层”不稳定，在钛离子作用下易于生成TiN。当气相沉积时的等离子体提供活性钛及离子聂击产生位错和空位时，即从动力学上促进转变发生，形成“黑色层”；同时，“黑色层”能否形成还与气氛氮势，体系温度有关。上述分析可以完满解释文献中有关“黑色层”的实验现象，由此给出了避免“黑色层”的途径， |
| 关 键 词： | 渗氮 气相沉积 复合处理 “黑色层” 氮化钛 金属表面处理 |
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