多台阶相幅型菲涅耳波带片的矢量衍射 |
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引用本文: | 朱艳,张耀举,赵艳. 多台阶相幅型菲涅耳波带片的矢量衍射[J]. 激光与光电子学进展, 2014, 51(6): 60501-30 |
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作者姓名: | 朱艳 张耀举 赵艳 |
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作者单位: | 朱艳:温州大学物理与电子信息工程学院, 浙江 温州 325035 张耀举:温州大学物理与电子信息工程学院, 浙江 温州 325035 赵艳:温州大学物理与电子信息工程学院, 浙江 温州 325035
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基金项目: | 国家自然科学基金(61078023,61377021)、浙江省科技公益项目(2010C31051) |
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摘 要: | 用矢量Rayleigh-Sommerfeld(VRS)衍射理论分析计算了高数值孔径多台阶相幅型菲涅耳波带片(M-SHFZP)的聚焦场分布。当线性偏振光垂直入射到M-SHFZP,结果显示:1)由于薄膜透射率随着刻蚀台阶深度发生变化,致使实际的M-SHFZP的聚焦强度小于多台阶纯相位型菲涅耳波带片(M-SPFZP)的聚焦强度,但是M-SHFZP的聚焦光斑大小基本上与M-SPFZP的相同;2)聚焦光的强度随着台阶数的增加而增加,但聚焦光斑的大小不随台阶数变化;3)对于低数值孔径的M-SHFZP,光轴上的强度呈现一个多焦点分布,但是对于高数值孔径的M-SHFZP,高级焦点的强度被大大抑制。台阶数愈多,数值孔径愈大,抑制高级次焦点的能力愈强。VRS矢量衍射理论的计算结果与时域有限差分法(FDTD)模拟结果基本一致。
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关 键 词: | 物理光学 聚焦 矢量Rayleigh-Sommerfeld衍射理论 多台阶相幅型菲涅耳波带片 高数值孔径 |
收稿时间: | 2014-01-17 |
Vertical Diffraction of Multi-Step Hybrid Fresnel Zone Plates |
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Abstract: | |
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Keywords: | physical optics focusing vertical Rayleigh-Sommerfeld diffraction theory multi-step hybrid Fresnel zone plate high-numerical-aperture |
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