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| 自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究 | |
| 引用本文： | 孙剑,杨天鹏,白亦真,徐艺滨,王新胜,杜国同. 自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究[J]. 真空科学与技术学报, 2006, 26(Z1): 140-142 |
| 作者姓名： | 孙剑 杨天鹏 白亦真 徐艺滨 王新胜 杜国同 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室物理系,大连,116024;大连理工大学物理系,大连,116024 2. 吉林大学集成光电子国家重点实验室电子科学与工程学院,长春,130023 3. 大连理工大学物理系,大连,116024 4. 大连理工大学物理系,大连,116024;吉林大学集成光电子国家重点实验室电子科学与工程学院,长春,130023 |
| 摘 要： | ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征.结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好. |
| 关 键 词： | 声表面波滤波器 金刚石 ZnO薄膜 金属有机化合物气相沉积 |
| 文章编号： | 1672-7126(2006)增-0140-03 |
| 修稿时间： | 2005-09-01 |
Deposition of ZnO Films on Thick Diamond Films |
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| Sun Jian,Yang Tianpeng,Bai Yizhen,Xu Yibin,Wang Xinsheng,Du Guotong. Deposition of ZnO Films on Thick Diamond Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2006, 26(Z1): 140-142 | |
| Authors: | Sun Jian Yang Tianpeng Bai Yizhen Xu Yibin Wang Xinsheng Du Guotong |
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