| MIM波导结构耦合椭圆八字形谐振腔的折射率传感器 |
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| 作者姓名： | 单义婷 赵丽娟 张智娟 黄梓朦 |
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| 作者单位： | 1. 华北电力大学电气与电子工程学院;2. 华北电力大学河北省电力物联网技术重点实验室;3. 华北电力大学保定市光纤传感与光通信技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(62273146、62171185)资助；;中央高校基本科研业务费专项资金(2021MS072)资助；;河北省自然科学基金项目(E2019502177、E2020502010)资助；;河北省省级科技计划(SZX-2020034)资助； |
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| 摘 要： | 为了进一步提高光学折射率传感器灵敏度，设计了一种金属-介质-金属(MIM)波导结构耦合椭圆八字形谐振腔的折射率传感器。首先，理论分析了该传感结构的原理及关键性能指标；然后，使用有限元分析仿真软件构建了仿真结构，研究其传感性能。仿真结果表明：当a=540 nm、b=340 nm、g=10 nm、l=70 nm时，所设计的传感器的灵敏度可以达到1 323 nm/RIU，对应的品质因数可以达到16。
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| 关 键 词： | 表面等离子体激元 金属-介质-金属波导 折射率传感器 灵敏度 有限元法 |
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