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| 荷能粒子在类金刚石膜形成中的作用 | |
| 引用本文： | 杨云志,冉均国,郑昌琼.荷能粒子在类金刚石膜形成中的作用[J].硅酸盐通报,1998(2). |
| 作者姓名： | 杨云志 冉均国 郑昌琼 |
| 作者单位： | 四川联合大学无机材料系 |
| 摘 要： | 类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助ＣＶＤ和ＰＶＤ技术已用来沉积类金刚石膜（ＤＬＣ膜），但其形成机理仍不清楚。本文通过分析荷能离子的作用，应用热峰效应和离子刻蚀效应来解释ＤＬＣ膜的形成 |
| 关 键 词： | 类金刚石，荷能粒子，热峰，离子刻蚀 |
Effects of Energy Particles in the Formation of DLC Films |
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| Affiliation: | Sichuan Union University |
| Abstract: | |
| Keywords: | DLC film energy particles thermal spikes ion etching |
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