芯片制造厂气体使用的风险管理研究 |
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引用本文: | 江颖俊.芯片制造厂气体使用的风险管理研究[J].半导体行业,2007(3):54-58. |
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作者姓名: | 江颖俊 |
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作者单位: | 上海华虹NEC电子有限公司 |
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摘 要: | 半导体芯片制造业为近年来我国政府重点辅导的高科技产业,其未来在国家的经济成长上将产生显着的贡献,但由于芯片制造厂房使用着大量特殊危险及有害的气体,无形中也增加了芯片制造厂房的营运风险。芯片制造产业在世界先进国家与地区已经运行数十年,无论是从正向的气体使用风险管理或是负向意外事故损失中获取的教训,都已经为芯片制造业提供了充分足的气体使用管理知识与技巧。文章将从中国的法规系统出发,参考国外相关的法规标准及相同产业的管理经验,来探讨芯片制造厂房气体生命周期过程的风险管理问题。结论中将对未来新建厂房的气体风险管理提出建议。
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关 键 词: | 半导体 芯片 芯片制造 气体 安全管理 气体探测器 |
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