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电视选行扫描器及其应用

作者姓名：	何梁昌吴冠群沈彭年肖宗耀

作者单位：	中国科学院上海冶金研究所(何梁昌，吴冠群，沈彭年)，中国科学院上海冶金研究所(肖宗耀)

摘要：	本文介绍了研制的电视选行扫描器的原理、结构、观察系统装置的特点和性能。此扫描器已应用于发光管及激光器的近场形貌、近场分布、发光管的暗线研究以及远场观察,光刻线条的测量,硅片透射研究等方面的工作。
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