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| 传统半导体厂商对MEMS的思考 | |
| 作者姓名： | 颜重光 |
| 作者单位： | 上海贝岭股份有限公司 |
| 摘 要： | 最近几年来MEMS技术在国内外得到了迅猛的发展,MEMS产品已经有了开拓性的应用,MEMS产业链将会迅速崛起,预计2007年,全球MEMS元器件销售总额将突破70亿美元。 |
| 关 键 词： | MEMS技术 传统半导体厂商 国内外 开拓性 产业链 元器件 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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