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CHF_3/O_2接触腐蚀过程中的氢渗透
摘    要:CHF_3/O_2接触腐蚀过程中的氢渗透=Si缺陷形成及其相互影响=Hydrogenpermeation,Sidefectgeneration,andtheirinteractionduringCHF_3/O_2contactetching[刊,英]...

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