| 晶体生长过程高精度温度控制系统设计 |
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| 引用本文： | 沈正阳,潘丰.晶体生长过程高精度温度控制系统设计[J].机械制造与自动化,2019,48(3):220-222,228. |
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| 作者姓名： | 沈正阳 潘丰 |
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| 作者单位： | 江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室,江苏无锡,214122;江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室,江苏无锡,214122 |
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| 摘 要： | 目前晶体生长装置通常采用PLC进行控制,但常规PLC的温度测量精度达不到要求的控制精度。采用PLC和高精度智能温度控制表结合,使生长槽温度精度达到±0.01℃。同时设计顺序降温控制,在规定的时间内,可进行阶段性的降温达到设定的温度。该系统已在实际生产中使用,满足了高品质晶体生长的要求。
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| 关 键 词： | 晶体生长 温度控制 顺序控制 系统设计 |
Design of High Precision Temperature Control System in Growth of Crystals |
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| SHEN Zhengyang,PAN Feng.Design of High Precision Temperature Control System in Growth of Crystals[J].Machine Building & Automation,2019,48(3):220-222,228. |
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| Authors: | SHEN Zhengyang PAN Feng |
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| Affiliation: | (Key Laboratory of Advanced Process Control for Light Industry (Ministry of Education) ,Jiangnan University,Wuxi 214122,China) |
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| Abstract: | SHEN Zhengyang;PAN Feng(Key Laboratory of Advanced Process Control for Light Industry (Ministry of Education) ,Jiangnan University,Wuxi 214122,China) |
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| Keywords: | crystal growth temperature control sequence control system design |
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