| 电容式聚酰亚胺湿敏元件保护膜研究 |
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| 引用本文： | 王成杨,王亚彬,金建东,郑丽,司良有.电容式聚酰亚胺湿敏元件保护膜研究[J].信息技术,2016(4):69-72. |
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| 作者姓名： | 王成杨 王亚彬 金建东 郑丽 司良有 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2014AA06A505);中国电子科技集团公司第四十九研究所青年科技创新基金资助项目(QC2014005) |
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| 摘 要： | 采用49-1,PI-5,DOW184以及CAB551四种有机物作为湿敏元件的保护层材料,制作带有保护层的电容式湿敏元件,并对其湿度响应特性与耐污染能力进行研究。实验结果表明,49-1具有更好的综合性能,其湿滞变化为0.18%RH,涂覆后响应时间为11s,污染后初始容值变化为0.190p F,相比于无保护膜的湿度敏感元件变化值减小约20倍,具有良好耐污染特性。该层薄膜不仅起到了保护湿敏元件的作用,且可以降低湿敏元件在有机污染物中的漂移,提高电容式湿敏元件的稳定性。
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| 关 键 词： | 湿度 传感器 电容式 保护层 |
Study on protecting layer of capacitive-type polyimide humidity sensor |
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| WANG Cheng-yang;WANG Ya-bin;JIN Jian-dong;ZHENG Li;SI Liang-you.Study on protecting layer of capacitive-type polyimide humidity sensor[J].Information Technology,2016(4):69-72. |
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| Authors: | WANG Cheng-yang;WANG Ya-bin;JIN Jian-dong;ZHENG Li;SI Liang-you |
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| Affiliation: | WANG Cheng-yang;WANG Ya-bin;JIN Jian-dong;ZHENG Li;SI Liang-you;The 49th Research Institute of China Electronic Technology Group Corporation; |
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