| 微机电系统关键技术及其研究进展 |
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| 引用本文： | 张冬至,胡国清. 微机电系统关键技术及其研究进展[J]. 压电与声光, 2010, 32(3) |
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| 作者姓名： | 张冬至 胡国清 |
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| 作者单位： | 华南理工大学机械与汽车工程学院,广东,广州,510640 |
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| 基金项目： | 华南理工大学优秀博士学位论文创新基金资助项目，国家留学基金委员会资助项目 |
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| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化.
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| 关 键 词： | 微机电系统 微机械加工 微传感器 纳米制造 聚合物微机电系统(MEMS) |
Key Technologies of Micro-electromechanical System and Its Recent Progress |
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| ZHANG Dongzhi,HU Guoqing. Key Technologies of Micro-electromechanical System and Its Recent Progress[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2010, 32(3) |
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| Authors: | ZHANG Dongzhi HU Guoqing |
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