光刻机光头调焦音圈电机的结构设计

以对光刻机刻蚀光头调焦时圈电机的设计的实际经验为例，阐述了音圈电机结构的设计原则，设计了两种结构的音圈电机，一种是采用氟塑料套筒，另一种采用滚珠导套。文中对这两种音圈电机的性能进行了分析。实验结果证明，最终选定的音圈电机结构具有良好而稳定的性能。