Monolithically Integrated Optoelectronic Receivers Implemented in 0.25μm MS/RF CMOS |
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作者姓名: | Chen Hong Gao Peng Mao Luhong Huang Jiale |
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作者单位: | [1]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室,北京100083 [2]天津大学电子信息工程学院,天津300072 |
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基金项目: | 国家高技术研究发展计划(863计划);2002AA312240;2003AA312040; |
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摘 要: | 设计了一种单片集成的光电接收机芯片.在同一衬底上制作了基于同一工艺的光电二极管与接收机电路,以消除混合集成引入的寄生影响.这种单片集成接收机采用了先进的深亚微米MS/RF(混合信号/射频)CMOS工艺,利用这种新型工艺提供的新技术对原有光电二极管进行了改进,使其部分性能显著改善,并对整个光电集成芯片性能的提高有所帮助.
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关 键 词: | 单片集成 光电集成电路 CMOS工艺 光电接收机 |
文章编号: | 0253-4177(2006)02-0323-05 |
修稿时间: | 2005年10月12日 |
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