| 太赫兹器件用新型复合多层金刚石材料的研究 |
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| 引用本文： | 李莉莉,丁明清,杜英华,冯进军,胡健楠.太赫兹器件用新型复合多层金刚石材料的研究[J].微波学报,2015,31(S1):29-31. |
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| 作者姓名： | 李莉莉 丁明清 杜英华 冯进军 胡健楠 |
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| 作者单位： | ( 微波电真空器件国家级重点实验室，北京真空电子技术研究所，北京 100015 ) |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划（2013CB933602） |
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| 摘 要： | 微波器件频率进入太赫兹，输能窗的厚度减小至一百甚至几十微米。常规的介质材料，或者多晶金刚石材料已
经难以满足强度和真空密封性能的要求。为此设计并研制出一种新型微/超纳米复合多层金刚石膜。该膜采用微波等离子
体化学气相沉积法（MPCVD），通过反应气源和沉积参数的改变，实现在硅衬底上依次原位生长微米尺度和超纳米尺度
的金刚石膜。研制的复合多层金刚石膜表面粗糙度Ra<0.5μm，生长面的断裂强度高达1550MPa，是普通多晶金刚石膜的
三倍。用该膜封接的输能窗目前已经通过真空密封性测试，将首次应用于太赫兹真空器件。
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| 关 键 词： | 太赫兹，输能窗，复合多层金刚石，断裂强度，密封性 |
A Study of a Novel Micro/Ultrananocrystalline Composited
Multilayer Diamond Films Used in Terahertz Devices |
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| LI Li-li,DINGMing-qing,DU Ying-hu,FENG Jin-jun,HU Jian-nan.A Study of a Novel Micro/Ultrananocrystalline Composited
Multilayer Diamond Films Used in Terahertz Devices[J].Journal of Microwaves,2015,31(S1):29-31. |
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| Authors: | LI Li-li DINGMing-qing DU Ying-hu FENG Jin-jun HU Jian-nan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | terahertz microwave windows composited multilayer diamond film fracture strength air tightness |
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