栅极绝缘层和有源层沉积工艺的优化对TFT特性的影响研究<b class="markJ">简</b> 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

栅极绝缘层和有源层沉积工艺的优化对TFT特性的影响研究简

引用本文：	田宗民,陈旭,张金中,张文余,谢振宇,郭建,姜晓辉,闵泰烨.栅极绝缘层和有源层沉积工艺的优化对TFT特性的影响研究简[J].真空科学与技术学报,2014(1):32-37.

作者姓名：	田宗民陈旭张金中张文余谢振宇郭建姜晓辉闵泰烨

摘要：
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