电极形状对矩形管内壁等离子体注入剂量分布的影响<b class="markJ">简</b> 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

电极形状对矩形管内壁等离子体注入剂量分布的影响简

引用本文：	蔡明哲,马英鹤,巩春志,田修波.电极形状对矩形管内壁等离子体注入剂量分布的影响简[J].真空科学与技术学报,2014(2):175-182.

作者姓名：	蔡明哲马英鹤巩春志田修波

摘要：
本文献已被 CNKI 等数据库收录！