| 微型压电能量采集器的仿真、制造与测试 |
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| 引用本文： | 孙健,李以贵,刘景全,杨春生,何丹农.微型压电能量采集器的仿真、制造与测试[J].压电与声光,2010,32(6). |
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| 作者姓名： | 孙健 李以贵 刘景全 杨春生 何丹农 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，航空重点实验室基金资助项目，科技部国际合作项目基金资助项目，上海市科委基金资助项目 |
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| 摘 要： | 理论分析得到微悬臂梁式压电能量采集器的设计准则.采用一种新颖的制造工艺,将高性能压电陶瓷锆钛酸铅(PZT)块材与硅片在540 ℃高温下键合1 h后,减薄并切割成形成压电悬臂梁.使用ANSYS软件进行仿真,得到了器件的固有频率、尖端位移和电压输出的频率响应.设计一套振动能量采集器测试装置,并对器件进行测试.测试结果表明,所制得的器件固有频率为2 580 Hz,在10 m/s2的正弦加速度激励下,其输出峰-峰值电压达1.58 V,测试结果与仿真分析基本吻合.
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| 关 键 词： | 悬臂梁 压电 能量采集器 键合 固有频率 |
Simulation, Manufacturing and Testing of Micro Piezoelectric Power Generator |
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| SUN Jian,LI Yigui,LIU Jingquan,YANG Chunsheng,HE Dannong.Simulation, Manufacturing and Testing of Micro Piezoelectric Power Generator[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2010,32(6). |
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| Authors: | SUN Jian LI Yigui LIU Jingquan YANG Chunsheng HE Dannong |
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