| Cr-Si-Ni电阻薄膜在酸碱溶液环境中的电学稳定性 |
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| 引用本文： | 张玉勤,董显平,吴建生. Cr-Si-Ni电阻薄膜在酸碱溶液环境中的电学稳定性[J]. 中国有色金属学报, 2006, 16(1): 147-152 |
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| 作者姓名： | 张玉勤 董显平 吴建生 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,材料科学与工程学院,教育部高温材料及测试重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;上海市科技发展基金 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射方法制备了Cr-Si-Ni电阻薄膜,研究了薄膜在模拟酸性(0.1 mol/L HCl)和碱性(0.1 mol/L NaOH)溶液环境中的电学稳定性和长期使用可靠性。结果表明:在室温(25℃)时,500℃热处理后的纳米晶结构薄膜在酸性溶液环境中比在碱性溶液环境中具有更优异的电学稳定性和长期使用可靠性。在酸碱两种溶液中浸泡240 h后,薄膜试样的相对电阻变化(ΔR/R)分别为0.96%和3.31%。电化学实验和AES表面成分分析表明,在酸碱两种溶液中薄膜表面都能够形成致密稳定的SiO2保护层,而且酸性环境形成的钝化膜比碱性环境形成的钝化膜具有更好的腐蚀保护作用。
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| 关 键 词： | 电阻薄膜 电学稳定性 相对电阻变化 腐蚀行为 |
| 文章编号： | 1004-0609（2006）01-0147-06 |
| 收稿时间： | 2005-05-23 |
| 修稿时间： | 2005-09-20 |
Electrical stability of Cr-Si-Ni resistive films in acidic and alkaline aqueous solutions |
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| ZHANG Yu-qin,DONG Xian-ping,WU Jian-sheng. Electrical stability of Cr-Si-Ni resistive films in acidic and alkaline aqueous solutions[J]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2006, 16(1): 147-152 |
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| Authors: | ZHANG Yu-qin DONG Xian-ping WU Jian-sheng |
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| Affiliation: | Key Laboratory for High Temperature Materials and Tests of Ministry of Education, School of Materials Science and Engineering, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | resistive films electrical stability relative resistance change corrosion behavior |
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