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| 扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究 | |
| 引用本文： | 张秀珍,马秀娟,戴伏生.扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究[J].计量与测试技术,2001,28(1):15-16. |
| 作者姓名： | 张秀珍 马秀娟 戴伏生 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学威海分校 2. 哈尔滨工业大学威海分校,威海,264209 |
| 摘 要： | 本文简要介绍了扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构，重点分析了传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法，解决了此类传感器的稳定性问题。 |
| 关 键 词： | 压力传感器 温度补偿 稳定性 结构 扩散硅 工作原理 |
| 修稿时间： | 1999年8月25日 |
Reseach Into the Methed of Compensation of Absolute Pressure Capsule with Diffusing Sillicon |
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