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| 浅谈超精加工 | |
| 作者姓名： | 本刊编辑部 |
| 摘 要： | <正> 过去,一般在机械工业中将达到微米级精度的加工称为精密加工。从五十年代末由微米级提高到了目前的10纳米级(即0.01微米)而进入了超精加工的新时代。在工业发达国家,如美国、日本及西欧等国,为了制造极高精度的零件,从六十年代以来,不少企业和科研单位都对超精密加工技术作出了重大贡献。如日立公司中心科研实验室制成了一台超精平面磨床,其最后精加工的表面光洁度可达0.02微米、平行度达0.3微米, |
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