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| 微光机电系统技术的研究与应用(上) | |
| 作者姓名： | 张培玉 |
| 作者单位： | 北京大学微电子所 博士后 |
| 摘 要： | ２ ０世纪６０年代发展起来的微 电子技术和集成电路（ＩＣ），已构成人类文明的重要基础。获得巨大成功的微电子技术引入微型机械领域，又引发了一场革命，而１９８７年由华裔留美学生冯龙生等人研制的转子直径为６０μｍ和１００μｍ的硅微型静电电机，显示出利用硅微加工工艺制作微小可动结构并与ＩＣ兼容制造微小系统的潜力，在国际上引起轰动。科幻小说中描述把自己变成小昆虫钻到别人的居室或心脏中去的场景将要成为现实，同时，也标志着微机电系统（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）的诞生… |
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