| 共聚焦激光扫描显微系统光学设计 |
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| 引用本文： | 肖海东,吴永前.共聚焦激光扫描显微系统光学设计[J].光学仪器,2018,40(6):65-74. |
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| 作者姓名： | 肖海东 吴永前 |
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| 作者单位： | 中国科学院 光电技术研究所, 四川 成都 610209;中国科学院大学, 北京 100049,中国科学院 光电技术研究所, 四川 成都 610209 |
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| 摘 要： | 为了实现非接触式、快速高精度的光学检测,设计了一种共聚焦激光扫描显微光学系统。在保证设计指标的前提下,简化了各光组的结构,采用7片球面透镜并以K9玻璃作为透镜材料。使用Zemax软件对光学系统进行了设计和仿真。结果表明:物镜的数值孔径为0.49;系统的径向和轴向光学分辨率分别为0.400μm和0.772μm;显微聚焦系统聚焦弥散斑直径小于2μm;照明系统聚焦弥散斑直径小于10μm;探测系统的聚焦光斑直径小于20μm;根据仿真结果确定了针孔1和针孔2的尺寸均为20μm,且厚度不超过0.1mm;各子系统的MTF曲线均接近衍射极限,具有很高的光学传输效率。
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| 关 键 词： | 光学设计 Zemax 激光共聚焦 显微物镜 照明系统 探测系统 |
| 收稿时间： | 2018/3/11 0:00:00 |
Optical design of confocal laser scanning microscope system |
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| XIAO Haidong and WU Yongqian.Optical design of confocal laser scanning microscope system[J].Optical Instruments,2018,40(6):65-74. |
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| Authors: | XIAO Haidong and WU Yongqian |
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| Affiliation: | Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China;University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China and Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical design Zemax laser confocal the microscope objective lighting system detection system |
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