| 微透镜阵列用于线列红外探测器的研究 |
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| 引用本文： | 张新宇,刘鲁勤.微透镜阵列用于线列红外探测器的研究[J].红外与毫米波学报,1998,17(2):147-152. |
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| 作者姓名： | 张新宇 刘鲁勤 |
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| 作者单位： | 1. 华中理工大学光电子工程系,湖北,武汉,430074
2. 航天部二院25所,北京,100584 |
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| 摘 要： | 采用离子束刻蚀制备了线列长方形拱面熔凝石英微透镜阵列，用准分子激光扫描消融法淀积了性能均匀而且稳定的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，用湿法刻蚀制备了超导薄膜器件，用微透镜阵列与超导薄膜器件耦合构成组合式红外探测器。
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| 关 键 词： | 石英微透镜 超导 红外探测器 微透镜 组件 |
| 修稿时间： | 1997年11月15日 |
IR DETECTOR ARRAY WITH QUARTZ MICROLENS |
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| ZHANG Xin,Yu,YI Xin,Jian,ZHAO Xing,Rong,MAI Zhi,Hong,HE Mi,Ao.IR DETECTOR ARRAY WITH QUARTZ MICROLENS[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,1998,17(2):147-152. |
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| Authors: | ZHANG Xin Yu YI Xin Jian ZHAO Xing Rong MAI Zhi Hong HE Mi Ao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | quartz microlens superconducting IR detector microlens/ IR detector composite device |
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