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激光位移传感器在角度测量中的应用
引用本文:朱万彬,钟俊,莫仁芸.激光位移传感器在角度测量中的应用[J].传感器与微系统,2010,29(6).
作者姓名:朱万彬  钟俊  莫仁芸
基金项目:吉林省科技发展计划资助项目
摘    要:激光位移传感器因其较高的测量精度和非接触测量特性,可应用在很多方面,将其用在测量工件的角度上能够实现角度的高精度测量.通过步进电机带动激光位移传感器扫描二面角的2个面,然后对测量的数据采用Matlab程序做最小二乘拟合,得到二面角两边的斜率,从而求出角度.实验中采用的位移传感器分辨率为0.3 μm,导轨和步进电机重复定位精度高于3 μm,则测量角度的精度高于1".

关 键 词:角度测量  激光位移传感器  最小二乘拟合  精度

Application of laser displacement sensor in measurement of angle
ZHU Wan-bin,ZHONG Jun,MO Ren-yun.Application of laser displacement sensor in measurement of angle[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(6).
Authors:ZHU Wan-bin  ZHONG Jun  MO Ren-yun
Abstract:
Keywords:
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