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| 拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用 | |
| 引用本文： | 褚金奎,郝秀春,王立鼎.拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 褚金奎 郝秀春 王立鼎 |
| 摘 要： | 简要介绍了MEMS的设计现状和拓扑优化方法,并根据MEMS中微机构的特点,概述了拓扑优化方法在微机构中的应用.最后以微夹钳为例,对不同负载、不同约束情况下微夹钳结构进行了拓扑优化设计. |
| 关 键 词： | MEMS 拓扑优化 微机构 |
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