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| 反应溅射氮化钨膜特性研究 | |
| 引用本文： | 张利春,夏宗璜.反应溅射氮化钨膜特性研究[J].半导体学报,1990,11(5):348-354. |
| 作者姓名： | 张利春 夏宗璜 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 溅射 淀积 氮休钨薄膜 扩散势垒 |
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