| 一种微机械加速度计的自检测特性研究 |
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| 引用本文： | 陈伟平,韩 天,赵振刚,刘晓为,孙立宁,曹伽牧.一种微机械加速度计的自检测特性研究[J].传感技术学报,2008,21(3):477-479. |
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| 作者姓名： | 陈伟平 韩 天 赵振刚 刘晓为 孙立宁 曹伽牧 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001
2. 哈尔滨理工大学,哈尔滨,150080 |
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| 摘 要： | 采用静电力驱动质量块产生等效加速度信号实现了微机械加速度计的自检测功能。分析了平板驱动电极的静电驱动力、吸合电压以及稳定驱动位移条件。采用光学测试技术测试了驱动电压和驱动位移的关系,吸合电压,证实了理论分析。利用理论分析公式计算了低驱动电压情况下的驱动位移。结果表明在10～15V的直流驱动电压下能产生等效于1g加速度的输出。
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| 关 键 词： | 微机械电子系统 加速度计 自检测 静电力 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)03-0477-03 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Self-Test Characteristics of a Micromachined Accelerometer |
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| CHEN Wei-ping,HAN Tian,ZHAO Zhen-gang,LIU Xiao-wei,SUN Li-ning,CAO Jia-mu.Self-Test Characteristics of a Micromachined Accelerometer[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(3):477-479. |
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| Authors: | CHEN Wei-ping HAN Tian ZHAO Zhen-gang LIU Xiao-wei SUN Li-ning CAO Jia-mu |
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| Affiliation: | 1 MEMS Center, Institute of Technology, Harbin150001, China)
(2 Harbin University of Science and Technology, Harbin150080, China |
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| Abstract: | The self-test function of a micromachined accelerometer is realized by electrostatic method.The electrostatic force drives the proof mass to produce an equivalent acceleration.The electrostatic force,pull-in voltage and steady drive displacement are analyzed theoretically.To validate the theory,the pull-in voltage and the relationship between the drive voltage and displacement are measured by optic method.The drive displacement under low DC voltage is calculated by the theoretical formula.The result indicates that the accelerometer can produce an equivalent acceleration of 1 gn under the DC voltage from 10V to 15V. |
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| Keywords: | MEMS accelerometer self-test electrostatic force |
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