| 光波导用TiO2/SiO2复合薄膜的制备及其性能研究 |
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| 引用本文： | 李小甫,余海湖,姜德生.光波导用TiO2/SiO2复合薄膜的制备及其性能研究[J].光电子技术与信息,2003,16(2):20-25. |
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| 作者姓名： | 李小甫 余海湖 姜德生 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学光纤传感技术研究中心,湖北,武汉,430070 |
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| 基金项目： | 湖北省自然科学基金，2001j2015， |
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| 摘 要： | 用离子自组装成膜技术制备了用作光波导器件的TiO2／SiO2复合薄膜，介绍了薄膜光学常数的测定方法，并研究了光波导的波导特性．结果表明随着TiO2含量的增大，光波导的折射率增加；但同时光波导损耗也将发生变化，一般TiO2占10％时，薄膜的波导损耗较低．在更高的含量范围内，必须使TiO2分散．
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| 关 键 词： | 离子自组装 纳米薄膜 光波导 光学常数 |
| 文章编号： | 1006-1231(2003)02-0020-06 |
| 修稿时间： | 2002年11月20 |
Fabrication and Characteristics of TiO2/SiO2 Composite Thin Films for Optical Waveguide |
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