| Zr对非晶Co-Si薄膜晶化和相变的影响 |
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| 引用本文： | 吴海凤,程凡雄,董显平,吴建生.Zr对非晶Co-Si薄膜晶化和相变的影响[J].真空,2005,42(4):26-28. |
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| 作者姓名： | 吴海凤 程凡雄 董显平 吴建生 |
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| 作者单位： | 上海交通大学材料科学与工程学院,高温材料高温测试教育部重点实验室,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，上海市AM基金 |
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| 摘 要： | 利用X射线衍射分析技术结合差示扫描量热仪,研究了Zr在Co-Si合金非晶薄膜晶化和相变过程中的作用.结果表明:溅射态非晶Co-Si薄膜和Co-Si-Zr薄膜在加热到950℃的过程中,均主要析出Co-Si和Co-Si2两种晶化相;Zr的加入增大了晶化激活能,抑制了晶化相的形核和长大,使薄膜能够在更高的温度范围保持稳定,但在高温800℃以上加热时,却使晶化相Co-Si向Co-Si2的转变加快.
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| 关 键 词： | 钴硅薄膜 晶化 相变 微观结构 锆 |
| 文章编号： | 1002-0322(2005)04-0026-03 |
Influence of zirconium on crystallization and phase transformation of amorphous Co-Si thin films |
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| WU Hai-feng,CHENG Fan-xiong,DONG Xian-ping,WU Jian-sheng.Influence of zirconium on crystallization and phase transformation of amorphous Co-Si thin films[J].Vacuum,2005,42(4):26-28. |
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| Authors: | WU Hai-feng CHENG Fan-xiong DONG Xian-ping WU Jian-sheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Co-Si thin films crystallization phase transformation microstructure zirconium |
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