孪生对靶溅射ZnO：Al薄膜的研究

采用对向孪生靶溅射ZnO：Al(ZAO)薄膜可减少等离子体对基底薄膜轰击损伤，沉积速率与结晶程度高，不同气压溅射的ZAO薄膜，其透光率在波长小于700nm时基本相同，在可见光范围内(400-700nm)，都大于80％。其中，在550nm时的透过率大于90％；入射光大于700nm时，ZAO较厚的薄膜对红外的吸收更多；溅射气压为2Pa比1Pa沉积速率低，但薄膜电子迁移率较大、电阻率低，更适合做CIS薄膜太阳电池窗口层或透明导电膜。