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双倒筒靶结合基片双轴旋转的镀膜装置
摘 要:
双倒筒靶结合基片双轴旋转的镀膜装置由转动驱动轴、基片导轨以及基片构成,还包括:圆筒形靶材、圆筒形热屏蔽层和由多根加热丝围成的圆筒形加热器。装置制备大面积双面薄膜,在保证了大面积双面薄膜的均匀性和两面一致性的同时,提高了溅射镀膜的沉积速率,从而提高了大面积双面薄膜的生产效率,而且随着成膜时间的缩短,基片与薄膜间的互扩散问题也得到缓解。
关 键 词:
镀膜装置
基片
旋转
双轴
圆筒形
沉积速率
溅射镀膜
生产效率
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