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氮化镓(GaN)阴极紫外微通道板光电倍增管
引用本文:李慧蕊,申屠军,戴丽英,唐光华,钟伟俊,徐汉成,刘德林,杨杰. 氮化镓(GaN)阴极紫外微通道板光电倍增管[J]. 固体电子学研究与进展, 2011, 31(6)
作者姓名:李慧蕊  申屠军  戴丽英  唐光华  钟伟俊  徐汉成  刘德林  杨杰
作者单位:南京电子器件研究所,南京,210016
摘    要:<正>南京电子器件研究所近期研制成功的氮化镓(GaN)阴极紫外光电倍增管,采用MOCVD方式外延生长的蓝宝石/AlN/P-AlGaN异质外延结构作为阴极衬底材料,通过真空转移设备的高铝P型GaN材料微结构设计和工艺流通、透射式异质阴极材料生长、GaN外延片洁净处


Ultraviolet Microchannel Plate Photomultiplier Tubes with GaN Photocathode
LI Huirui,SHEN Tujun,DAI Liying,TANG Guanghua,ZHONG Weijun,XU Hancheng,LIU Delin,YANG Jie. Ultraviolet Microchannel Plate Photomultiplier Tubes with GaN Photocathode[J]. Research & Progress of Solid State Electronics, 2011, 31(6)
Authors:LI Huirui  SHEN Tujun  DAI Liying  TANG Guanghua  ZHONG Weijun  XU Hancheng  LIU Delin  YANG Jie
Abstract:
Keywords:
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