| Zn/Sb复合薄膜材料的制备及其在低温下的热电性能研究 |
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| 引用本文： | 疏敏,王学生,代晶晶,戚学贵. Zn/Sb复合薄膜材料的制备及其在低温下的热电性能研究[J]. 功能材料与器件学报, 2011, 17(6): 538-542 |
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| 作者姓名： | 疏敏 王学生 代晶晶 戚学贵 |
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| 作者单位： | 华东理工大学机械与动力工程学院上海200237 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射的方法,两个单靶依次在Si (100)基底上循环5次溅射制备了Zn/Sb多层复合纳米薄膜,并研究了固定调制周期为40nm时,Zn和Sb的调制比分别为1:1、3:2和4:1的三种情况下,Zn/Sb复合薄膜的Seebeck系数、电导率和功率因子在160K -250K温度范围内随温度的变化情况.采用XRD、AFM...
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| 关 键 词： | Zn/Sb薄膜 磁控溅射 Seebeck系数 电导率 |
The Preparation and Research on Performance of Zn/Sb thin films |
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| SHU Min,WANG Xue-sheng,DAI Jing-jing,QI Xue-gui. The Preparation and Research on Performance of Zn/Sb thin films[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2011, 17(6): 538-542 |
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| Authors: | SHU Min WANG Xue-sheng DAI Jing-jing QI Xue-gui |
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