准分子激光用于光刻设备期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

准分子激光用于光刻设备

引用本文：	吴秦杰.准分子激光用于光刻设备[J].激光与光电子学进展,1986,23(11):45.

作者姓名：	吴秦杰

作者单位：	吴秦杰:

摘要：	罗瑟福·阿普耳顿实验室的R. A.劳斯在去年10月1日到3日于英国伯明翰召开的85年国际半导体会议的一份报告中说：光刻设备利用准分子激光，可望提供X射线光刻的大部分优势，而避免其许多缺点。