| 一种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作 |
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| 引用本文： | 张久超,谭晓兰,康杰.一种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作[J].传感器与微系统,2016(1). |
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| 作者姓名： | 张久超 谭晓兰 康杰 |
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| 作者单位： | 北方工业大学机械与材料工程学院,北京,100144 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用,基于多铁纳米纤维敏感材料,利用MEMS技术、静电纺丝技术,设计制作了一种压电式压力传感器.通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析,得出纳米纤维直径越小,长度越大,即电极间距越大,纤维端电势越高,灵敏度越好.设计了传感器的结构尺寸和工艺过程,制作出了传感器样片.分析了在深硅刻蚀中掩蔽层保护出现的问题,提出了可行的工艺方法.
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| 关 键 词： | 压电式压力传感器 纳米纤维 微机电系统 静电纺丝 |
Analysis and fabrication of a nano-fiber piezoelectric pressure sensor |
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| ZHANG Jiu-chao,TAN Xiao-lan,KANG Jie.Analysis and fabrication of a nano-fiber piezoelectric pressure sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2016(1). |
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| Authors: | ZHANG Jiu-chao TAN Xiao-lan KANG Jie |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric pressure sensor nano-fiber MEMS electrospinning |
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