| m面蓝宝石衬底上ZnO外延薄膜的性能 |
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| 引用本文： | 崔军朋,段垚,王晓峰,曾一平.m面蓝宝石衬底上ZnO外延薄膜的性能[J].半导体学报,2007,28(Z1). |
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| 作者姓名： | 崔军朋 段垚 王晓峰 曾一平 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,新材料部,北京,100083 |
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| 摘 要： | 采用自行研制的CVD设备在m面蓝宝石衬底上成功生长了微米级的ZnO外延薄膜.采用X射线衍射(XRD)和双晶X射线摇摆曲线(DXRD)研究了所生长ZnO薄膜的结构特征.利用扫描电子显微镜(SEM)观测了ZnO样品的截面,并测得其厚度.同时利用室温光致发光(PL)谱及霍尔(Hall)测试研究了ZnO外延薄膜的光学性质和电学性质.
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| 关 键 词： | m面蓝宝石 ZnO外延薄膜 微米级 |
Quality of ZnO Expitaxial Film on m-Sapphire Substrate |
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| Cui Junpeng,Duan Yao,Wang Xiaofeng,Zeng Yiping.Quality of ZnO Expitaxial Film on m-Sapphire Substrate[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(Z1). |
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| Authors: | Cui Junpeng Duan Yao Wang Xiaofeng Zeng Yiping |
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