| 一种新型的在线式微波功率传感器 |
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| 引用本文： | 韩磊,黄庆安,廖小平.一种新型的在线式微波功率传感器[J].半导体学报,2007,28(7). |
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| 作者姓名： | 韩磊 黄庆安 廖小平 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，装备预先研究基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于MEMS技术的在线式微波功率传感器结构,并对该结构进行了理论分析、设计、制作和测量.该结构通过测量由MEMS膜耦合出的一小部分微波功率实现功率的测量.该结构制作工艺与GaAs MMIC工艺完全兼容.测量结果显示,在12GHz频率以内,微波功率传感器的反射系数小于-15dB,插入损耗小于2dB,在10GHz中心频率下的灵敏度为10 4μV/mW.
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| 关 键 词： | 微波功率 功率传感器 在线式 MEMS GaAs MMIC工艺 |
A Novel Inline Type Microwave Power Sensor |
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| Han Lei,Huang Qing'an,Liao Xiaoping.A Novel Inline Type Microwave Power Sensor[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(7). |
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| Authors: | Han Lei Huang Qing'an Liao Xiaoping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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