| 高Al组分AlxGa1-xN薄膜的弹性-塑性力学性质 |
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| 引用本文： | 许福军,沈波,王茂俊,许谏,苗振林,杨志坚,秦志新,张国义,蔺冰,白树林.高Al组分AlxGa1-xN薄膜的弹性-塑性力学性质[J].半导体学报,2007,28(10). |
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| 作者姓名： | 许福军 沈波 王茂俊 许谏 苗振林 杨志坚 秦志新 张国义 蔺冰 白树林 |
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| 作者单位： | 1. 北京大学物理学院,人工微结构与介观物理国家重点实验室,北京,100871
2. 北京大学工学院,先进材料与纳米技术系,北京,100871 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划)，教育部高校科技创新工程重大项目，北京市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用纳米压痕方法,研究了AlN/sphire模板上的高Al组分AlxGa1-xN薄膜的力学性质,特别是弹性-塑性转变行为.研究表明,AlxGa1-xN薄膜的杨氏模量E随着Al组分的增加而增大,薄膜中产生塑性形变所必要的剪切应力也随着Al组分的增加而增大.在AlxGa1-xN薄膜纳米压痕实验中,观察到位移不连续的跳断("pop-in")行为,并且发现"pop-in"行为强烈依赖于Al组分,Al组分的增加导致这种行为的减少.我们认为随着Al组分的增加,AlxGa1-xN中键能的增强和由于AlxGa1-xN与AlN/sapphire模板之间晶格失配减少这两个因素增加了AlxGa1-xN中新位错形成的阻力,从而导致了AlxGa1-xN薄膜中的"pop-in"行为随Al组分增加而减少.
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| 关 键 词： | AlxGa1-xN薄膜 杨氏模量 力学性质 塑性形变 |
Elastic-Plastic Mechanical Properties of AlxGa1-xN Thin Films with High Al Composition |
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| Xu Fujun,Shen Bo,Wang Maojun,Xu jian,Miao Zhenlin,Yang Zhijian,Qin Zhixin,Zhang Guoyi,Lin Bing,Bai Shulin.Elastic-Plastic Mechanical Properties of AlxGa1-xN Thin Films with High Al Composition[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(10). |
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| Authors: | Xu Fujun Shen Bo Wang Maojun Xu jian Miao Zhenlin Yang Zhijian Qin Zhixin Zhang Guoyi Lin Bing Bai Shulin |
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