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| 硅片尺寸势将越来越大 | |
| 引用本文： | 春晓.硅片尺寸势将越来越大[J].电子产品世界,1999(1). |
| 作者姓名： | 春晓 |
| 作者单位： | 中国华晶电子集团公司 |
| 摘 要： | 硅片尺寸势将越来越大中国华晶电子集团公司春晓一、前言由于半导体器件不断向高集成度、高性能、低成本与系统化的方向发展，它的应用已极其广泛。硅片，作为半导体器件的关键基础材料，随着半导体器件的地位上升，它的尺寸趋势亦越来越受到人们的关注。近年来建成的ＩＣ... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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