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| 行业信息 | |
| 摘 要： | <正>Air Products公司提升NF3产能Air Products公司称,它已使其在美国Home-town的三氟化氮(NF3)装置产能提高11%,达到1000t/a。该公司早先还宣布将于2008年第1季度使该装置再增加500t/a产能,并于2009年上半年使该装置产能再翻一番。NF3主要在半导体制造、平板显示器及其他电子产品生产中用作一种腔室清洗气体。 |
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Industry Information |
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