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纯铁等温硫化形成FeS2薄膜的转变过程
引用本文:孟亮,黄伟.纯铁等温硫化形成FeS2薄膜的转变过程[J].浙江大学学报(自然科学版 ),2000,34(6):633-636.
作者姓名:孟亮  黄伟
作者单位:浙江大学金属材料研究所,浙江杭州
基金项目:中国博士后科学基金资助项目(5925);国家自然科学基金资助项目(50071056)
摘    要:研究了400℃等温硫化条件下纯Fe膜反应形成FeS2薄膜的组织结构转变过程,等温1h时,Fe膜中即已发现FeS2结晶。随着温时间的延长,FeS2晶体尺寸及数量显著增加,当等温时间超过10h后,FeS2结晶速率便不再明显增加,如果对纯Fe膜温硫化20-30h,则可使其全部结晶形成接近化学计量成分的FeS2薄膜。

关 键 词:二硫化铁薄膜  硫化  等温处理  组织结构  纯铁膜
文章编号:1008-973X(2000)06-0633-04
修稿时间:1998年3月27日

The formation of pyrite films by isothermal sulfidation of iron layers
Abstract:
Keywords:pyrite  thin film  sulfidation  isothermal annealing  semiconductor material
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