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杂志ISSN号
脉冲和交流应力下互连的电徒动失效模型
作者姓名:
李志国 Tao.
J
作者单位:
北京工业大学
摘 要:
报导了一种电徒动失效模型,它能预计脉冲直流和交流应力下的电徒动寿命。实验结果指出,不同金属化系统(Al-2%Si,Al-4%Cu/TiW,Cu)显示了相似的失效特性,该特性能由上述模型解释和预测。研究发现,脉冲直流寿命长于直流寿命,交流寿命更长。这一认识放宽了与金属化承受脉冲直流和交流电流有关电路的设计要求,使进一步提高电路密度和速度的设计成为可能。
关 键 词:
集成电路 电徒动失效 模型 可靠性
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