磁控溅射法制备WO_3薄膜高温组织及色变性能分析

采用高温退火处理无机全固态薄膜与WO_3膜层,分析其在高温条件下电致变色性能的改变机制。结果表明:温度升高至250℃时,薄膜反射率变化量未发生显著改变,温度进一步升高,薄膜反射率的变化量快速降低。低于250℃时WO_3以非晶态结构存在;温度升高到250℃后,WO_3由非晶态结构逐渐转变为晶体结构。当基底温度升高后,WO_3发生电致变色过程所需的响应时间加长。随加热温度的上升,WO_3薄膜循环伏安曲线面积并未发生明显改变,温度超过250℃后,反应所需的电荷量显著降低,电致变色性能显著减小。