| 无线射频识别技术在CMP设备中的应用 |
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| 引用本文： | 刘志伟,胡孝伟,张金环. 无线射频识别技术在CMP设备中的应用[J]. 电子工业专用设备, 2019, 48(3): 29-32 |
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| 作者姓名： | 刘志伟 胡孝伟 张金环 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176 |
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| 摘 要： | 介绍了无线射频识别技术的主要原理及其特点,通过对化学机械抛光(CMP)设备中片盒(Cassette)识别模块的分析,将无线射频识别技术(RFID)应用到化学机械抛光设备中,对Cassette上射频标签进行数据读写操作。射频标签中含有晶圆加工工艺信息,可用于成品质量追踪、回馈,便于晶圆管理,并为工厂自动化管理晶圆调度系统提供数据。
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| 关 键 词： | 无线射频识别 化学机械抛光 数据读写 射频标签 |
Application of Radio Frequency Identification Technology in Chemical Mechanical Polishing Equipment |
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